產(chǎn)品中心
性狀：
分子式HF 分子量：20.01。
無色透明溶液，有強(qiáng)烈刺激性氣味，有毒，并有強(qiáng)烈的腐蝕性。
用途：
電子化學(xué)品用于超大規(guī)模集成電路芯片，太陽能電池，LED和TFT-LCD面板制造過程的蝕刻和清洗，原子能工業(yè)化學(xué)試劑。
產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)：
|
項(xiàng)目 |
指 標(biāo) |
|||
|
EL級 |
UP級 |
UP-S級 |
||
|
氫氟酸(HF), w/% |
49.0-49.5 |
49.0-49.5 |
49.0-49.5 |
|
|
顆粒(≥ 0.5 μm ) 個(gè)/ml ≤ |
25 |
25 |
25 |
|
|
顆粒(≥ 0.3 μm ) 個(gè)/ml ≤ |
- |
150 |
150 |
|
|
顆粒(≥ 0.2 μm) 個(gè)/ml ≤ |
- |
300 |
300 |
|
|
色度Color, 黑曾≤ |
10 |
10 |
10 |
|
|
硅氟酸, H2SiF6 ppm ≤ |
100 |
20 |
20 |
|
|
氯化物, Cl ppm ≤ |
5 |
5 |
0.5 |
|
|
硝酸鹽, NO3 ppm ≤ |
3 |
3 |
0.3 |
|
|
磷酸鹽, PO4 ppm ≤ |
1 |
1 |
0.1 |
|
|
亞硫酸鹽, SO3 ppm ≤ |
5 |
2 |
0.2 |
|
|
硫酸鹽, SO4 ppm≤ |
0.5 |
0.2 |
||
|
金
屬
離
子
ppb ≤ |
鋅( Zn ) |
50 |
10 |
10 |
|
鈉( Na ) |
200 |
10 |
1 |
|
|
鎂( Mg ) |
200 |
10 |
1 |
|
|
鉑( Pt ) 、鉀( K )、鈦( Ti)、 鋁( Al ) 、鉬( Mo ) 、鋇( Ba ) 鈣( Ca )、鐵( Fe ) |
100 |
10 |
1 |
|
|
鉛( Pb ) 、砷( As ) 、鎘( Cd ) 鎳( Ni ) |
50 |
10 |
1 |
|
|
錫( Sn ) 、錳( Mn ) 、鉻( Cr ) 鈷( Co )、銅( Cu ) 、鎵( Ga ) 鍺( Ge ) |
20 |
10 |
1 |
|
|
金( Au ) 、鈹( Be ) 、鉍( Bi ) 鋰( Li ) 、銀( Ag ) |
20 |
5 |
1 |
|
|
鍶( Sr ) 、鉈( Tl ) 銻( Sb ) 、礬( V ) |
- |
10 |
1 |
|